摘要
尝试一种简要直观、图文并茂的文体方式向读者介绍SUPREM-Ⅱ的输入卡撰写规则,为了全面反映SUPREM-Ⅱ的模拟功能,选取了有代表性的集成运算放大器的平面工艺为模拟分析对象。模拟了SUPREM-Ⅱ所能模拟的全部多数,进行双极型集成工艺全工序、全参数的模拟,该输入文本不仅充分地反映了工艺模拟输入卡的撰写方法与原则,且具有可操作性,读者完全可以据此举一反三,设计出不同的模拟方案。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第4期41-47,共7页
Semiconductor Technology