立方氮化硼薄膜的研制

研究了热灯丝射频等离子体化学气相沉积法立方氮化硼薄膜。实验结果表明，沉积条件对膜的质量及结构有重要的影响。在合适的条件下，可制备出优质的立方氮化硼薄膜材料。