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半导体柔性制造技术

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摘要半导体柔性制造技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）金圣东东欧剧变，苏联解体，此极对峙格局瓦解，持续半个世纪的冷战时代终告结束。今后，爆发全球性世界大战的可能性变小，随之而来的是频繁引发的各种局部战争。在冷战时期长期被掩盖的一些国家或地区原...

作者金圣东

机构地区电子工业部第十三研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第6期1-3,共3页 Semiconductor Technology

关键词半导体柔性制造技术

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TH165 [机械工程—机械制造及自动化]

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半导体技术

1995年第6期

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