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半导体柔性加工中的设备和工艺技术

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摘要 半导体柔性加工中的设备和工艺技术电子工业部第十三研究所(石家庄050051)钱小工1半导体柔性制造技术与MMST计划传统的半导体器件和IC制造大都采用大批量生产的方式,这种方式能实现工艺流程的最佳化,并降低了每个器件或晶片加工的成本。但是,这种方式并...
作者 钱小工
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第6期17-24,共8页 Semiconductor Technology
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