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纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究 被引量:2

Study on Fractal Characteristics of Surface Morphology of Nano-Crystalline Silicon Film
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摘要 利用扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,简称STM)对纳米硅薄膜在纳米尺度上的表面微观形貌进行了研究,结合分形理论,计算出样品表面形貌的分形维数D,从而得出D与有关样品微结构参数之间的关系.STM结合图象处理和傅利叶分析法可以很好地研究薄膜材料表面形貌的分形特征.纳米硅薄膜的表面在纳米尺度上的微观形貌呈现出分形特征. Abstract The surface micro-morphology of nano-crystalline silicon film is studied by using scanning tunneling microscope (STM ). The fractal dimension D of the sample surface morphology is calculated by associating with the fractal theory. The dependence of D on the related parameters of the s.lrnple microstructures is obtained. the fractal characteristics of the surface morphology of films can be well studied by STM, which combines with the methods of the image processing and Fourier analysis. The micromorphology of the surface of nano-crystalline silicon films presents fractal characteristics in nanometer size.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第12期917-920,共4页 半导体学报(英文版)
关键词 纳米硅薄膜 表面形貌 分形 STM Crystal microstructure Films Fractals Morphology Nanostructured materials
  • 相关文献

参考文献7

  • 1白春礼,戴长春,黄桂珍,陈增波,刘杰三,傅亨.STM数据采集分析计算机系统[J].物理化学学报,1989,5(1):3-6. 被引量:4
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  • 3何宇亮,物理,1991年,1期,29页
  • 4何宇亮,全国首届纳米固体研讨会文集,1990年
  • 5Lung C W,Phys Rev B,1988年,38卷,16期,11781页
  • 6Du Youwei,J Appl Phys,1987年,61卷,8期,3314页
  • 7汪世才,物理,1987年,16卷,321页

二级参考文献3

  • 1黄桂珍,化学通报,1988年,10卷,38页
  • 2白春礼,百科知识,1987年,3卷,71页
  • 3黄桂珍,物理

共引文献3

同被引文献12

引证文献2

二级引证文献5

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