宽禁带半导体金刚石材料与功率器件

本文介绍宽禁带半导体金刚石材料的结构、物理特性，器件结构和制备工艺，并根据材料的特性参数，给出金刚石功率器件频率与功率性能预测，与Ｓｉ、ＧａＡｓ等材料进行了比较。最后指出金刚石半导体器件实用化研究作方向。