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铝型材挤压模具PCVD TiN必要条件研究 被引量:3

The Study on Condition of Aluminium Profile extrusion dies PCVD TiN
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摘要 针对铝型材挤压模具,通过理论分析和实验验证,表明并不是所有尺寸的模具均能实现离子体化学气相沉积(PCVD),而是当工作带宽度与阴极放电长度满足一定关系时,才能有效地实现沉积,文中给出了这个必要条件。 Through theoretical analysis and experiment verification to aluminium profile extrusion dies,it is found that no all dies with various dimensions can achieve plasma chemical vapour deposition -PCVD,only when the Width of a bearing depth inthe die and the length of negative pole discharging to meet certain conditions,it can be achieved. In this paper, the necessary condition is given.
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 1995年第1期33-35,共3页 Surface Technology
关键词 工艺 铝型材 挤压成型 模具 气相沉积 氮化钛 PCVD,TiN film,Cathode discharge, technological condition
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