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论等离子体在表面技术中的应用 被引量:9

Discussion of the Application of Plasma on Surface Finishing
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摘要 介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原 理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。 Some modern technologies of surface finishing using plasma and their working principles were introduced. The behavior and role of the plasma in these processes and the characteristics of the technologises and their products were indicated. The Application and development of these technologies was discussed.
作者 邸柏林
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 1995年第1期1-5,共5页 Surface Technology
关键词 表面技术 等离子体 工艺 表面处理 plasma,surface finishing
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引证文献9

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