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硅的阳极氧化研究──多孔硅的制备及其发光机制 被引量:1

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摘要 评介了阳极氧化方法制备多孔硅(PorousSilicon)的工艺,讨论了多孔硅的形貌及发光机制。
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1995年第10期15-17,共3页 Materials Protection
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