辐射加热和感应加热外延炉的比较
-
1孟俊荣,吴云波.改进外延设备 节能效益显著[J].机械电子节能,1993(1):31-33.
-
2高培德,陈庆贵.YSZ上外延硅界面的特性[J].薄膜科学与技术,1993,6(2):98-103.
-
3陈特超,林伯奇,龙长林,肖慧,胡凡,程文静,丁杰钦,杨一鸣,龚杰洪.SiC外延炉加热系统的设计[J].电子工业专用设备,2017,46(1):4-7. 被引量:4
-
4黄永高,毛志军.红外加热筒式外延炉—SiCl4减压外延[J].江南半导体通讯,1991,19(6):35-39.
-
5孙玉典,李兴凯.PE—561型外延炉电阻率下限扩展的工艺研究[J].延河集成电路,1992(1):83-84.
-
6Ха.,А,Ма.,А.用准分子激光短波辐射加热等离子体[J].强激光技术进展,1998,8(1):28-34.
-
7陈涛,王文林,薛兵.外延过渡区对肖特基二极管I-V特性的影响[J].科技风,2014(16):59-59.
-
8李工一.高红外快速加热技术[J].中国科技成果,2004,5(5):31-31.
-
9吴连海,陈翠华.实现多层外延结构的程序设计[J].黑龙江电子技术,1996(1):12-13.
-
10祁康成.辐射加热进行YAG与九五瓷的真空扩散焊接研究[J].真空科学与技术,2001,21(3):242-244.
;