MCZ硅单晶及其应用

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摘要自1980年日本铃木等发表MCZ(加磁场直拉)硅单晶以来,经过6年多的努力,MCZ硅单晶用作半导体器件的基片已占有巩固的地位.

作者张秀澹

机构地区西安整流器研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期16-17,共2页 Semiconductor Technology

关键词硅单晶 MCI 半导体材料

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半导体技术

1989年第1期

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