摘要
介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器.
This paper reports a new silicon chip structure that has a leaf spring silicondiaphragm. We used this silicon ship for good performence siliccon pressure transducerswith various kinds of sensitivities and full-spans.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第1期22-26,共5页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
湖南省教委资助的"八.五"重点科研项目
关键词
硅
压力传感器
传感器
研制
a leaf spring silicon diaphragm
one-sided photo-etchingmulti-sigal output
