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半导体碳氟化合物气体传感器开发 被引量:1

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摘要 碳氟化合物具有多种用途,如添加剂、冷冻剂、清洁剂等.对碳氟化合物的探测主要是两个方面的需要:探测电冰箱、空调器等中的碳氟化合物泄漏状况;控制碳氟化合物在大气中的含量.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第1期64-65,共2页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
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