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半导体碳氟化合物气体传感器开发
被引量:
1
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摘要
碳氟化合物具有多种用途,如添加剂、冷冻剂、清洁剂等.对碳氟化合物的探测主要是两个方面的需要:探测电冰箱、空调器等中的碳氟化合物泄漏状况;控制碳氟化合物在大气中的含量.
作者
李欣波
施红妍
机构地区
航天工业总公司四十四所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第1期64-65,共2页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
关键词
气体传感器
半导体
碳氟化合物
传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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传感技术学报
1995年 第1期
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