摘要
研究了可在室温下工作,且具有Pt/LaF_3敏感膜的MIS型固态氧传感器,讨论了它的敏感机理,测试并分析了传感器的响应特性.
This paper studies MIS-type solid-state oxygen sensor using Pt/LaF, sensingfilm working at room temperature, discussed its sensing mechanism, tested and analy-sised the response characteristics of sensor.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第3期1-4,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
国家和天津市自然科学基金资助项目
关键词
敏感膜
MIS型
氧传感器
传感器
Pt/LaF3 sensing film MIS-type solid state oxygen sensorroom temperature
