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多晶硅敏感技术（连载七）

Sensing Technology Based on Polycrystalline Silicon (Serial Seven)

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摘要多晶硅敏感技术（连载七）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＳｅｖｅｎ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔ...

作者王善慈

机构地区东北传感技术研究所

出处《传感器技术》 CSCD 1995年第1期59-64,共6页 Journal of Transducer Technology

关键词多晶硅敏感技术热敏元件

分类号 TP211.51 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

引文网络
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传感器技术

1995年第1期

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