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钠钝化与PSG中磷浓度的关系

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作者 毕定国
出处 《等离子体应用技术快报》 1995年第1期16-17,共2页
关键词 半导体器件 磷硅酸玻璃 集成电路 钝化 钠 磷
分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献
等离子体应用技术快报
1995年 第1期

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