双离子束溅射技术制备Al膜
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2M.M.Abdelrahman.Study of Plasma and Ion Beam Sputtering Processes[J].Journal of Physical Science and Application,2015,5(2):128-142.
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3赵伟,袁宏韬,缪同群.19.5nm极紫外反射镜的研制[J].光学技术,2008,34(3):341-343. 被引量：1
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4王维洁,刘贵昂,王天民,黄良甫,罗崇泰,刘定权,徐明,杨一民.双离子束溅射淀积DLC膜的红外特性[J].光学学报,1990,10(12):1118-1124. 被引量：2
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5文峰,孟月东,任兆杏,舒兴胜.Microstructure, Hardness and Corrosion Resistance of ZrN Films Prepared by Inductively Coupled Plasma Enhanced RF Magnetron Sputtering[J].Plasma Science and Technology,2008,10(2):170-175. 被引量：4
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6刘贵昂.类金刚石膜及其淀积条件的研究[J].大自然探索,1998(4):72-75. 被引量：5
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7袁宏韬,张贵彦.一种日夜两用光学低通滤波器的研制[J].光学精密工程,2006,14(4):570-574. 被引量：5
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8袁宏韬,张贵彦.时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜[J].激光与红外,2007,37(4):370-372. 被引量：2
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9成珏飞,吴雪梅,诸葛兰剑.Ge-SiO_2与Si-SiO_2薄膜中颗粒形成的对比研究[J].真空科学与技术学报,2004,24(4):245-248.
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10赵昆,邢杰,刘玉资,赵见高,吕惠宾.Fe-氧化物薄膜的室温低场正磁电阻和高场负磁电阻[J].科学通报,2007,52(7):752-755. 被引量：2
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