反应磁控溅射沉积氮化铌薄膜
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7王军生,童洪辉,韩大凯,王治安.PEM控制中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的研究[J].真空,2012,49(4):36-39.
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8李戈扬,许俊华,田家万,顾明元,戎咏华.TiN/NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应[J].电子显微学报,2000,19(4):431-432. 被引量:2
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9王静,何建立,李文治,李恒德.IBAD合成CN_x/NbN纳米多层膜[J].材料研究学报,1998,12(5):543-545. 被引量:3
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10李婧,史生才.太赫兹频段氮化铌超导隧道结混频特性研究及天文应用[J].天文学报,2010,51(1):103-104.
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