用MWPCVD在多晶Ni和单晶Ni上合成金刚石
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1杨中海,吴坚强.MWPCVD合成金刚石[J].电子科技大学学报,1990,19(3):313-319. 被引量:1
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2舒兴胜,邬钦崇.水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜装置研制[J].真空与低温,2001,7(1):15-17. 被引量:1
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3杨国伟,刘大军,何金田,张兵临,毛友德.C_(60)作为石英衬底过渡层气相生长金刚石薄膜[J].金刚石与磨料磨具工程,1997,17(4):5-7. 被引量:1
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4舒兴胜,邬钦崇,梁荣庆.反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响[J].真空科学与技术,2001,21(2):162-165. 被引量:2
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