大圆片样品方块电阻测试及径向等高线图的绘制

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摘要本文用微机控制四探针测试系统,按着分区等差方法计算的连续点,描绘出半导体大圆片样品方块电阻的径向等高线图.

作者王万年

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期28-30,共3页 Semiconductor Technology

关键词大圆片方块电阻等高线图半导体

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半导体技术

1989年第2期

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