摘要
简要介绍了等离子体刻蚀机的控制要求和技术指标,阐述了应用8031实现上述要求的软、硬件具体实现方法及实际使用情况,最后提出了一些改进的措施。这种控制系统有进一步推广应用到其它工业生产设备上的价值。
The control requirements of plasma marking tool are introduced briefly. This paper elaborates how to use 8031 realizing above requirements. Its hardware and software is also illustrated.
出处
《电气自动化》
EI
北大核心
1995年第4期37-38,36,共3页
Electrical Automation
