高保真类金刚石／钛复合球顶高频扬声器振膜的研制

本文采用真空阴极电弧沉积方法在纯钛球顶扬声器振膜基体上沉积类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。研制成ＤＬＣ／Ｔｉ复合球顶振膜。着重讨论了钛基体的材质、厚度、振膜形状尺寸、ＤＬＣ镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响，并讨论了在镀膜过程中采用辅助工夹具以及合理的遮挡技术，保证振膜不变形和最佳的ＤＬＣ膜层厚度与分布，使ＤＬＣ／Ｔｉ球顶复合振膜频响达３０ｋＨｚ。