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国内外碳化硅材料的基本概况

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摘要 本文概述了国内外碳化硅生产厂家的发生情况,并对常见的几种碳化硅的生产工艺方法进行了比较详细的介绍,这对进一步了解碳化硅提供了参考。
作者 谢龙滨
出处 《电碳》 1995年第4期1-5,共5页
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