可调闭合阈值的微加速度开关

本文描述利用凸凹翘曲现象的可调加速度开关的设计制造和测试。一套ＳｉＯ２／Ｐ＾＋－Ｓｉ双层晶体梁加工成不同长度８００μｍ、９９０μｍ和１０００μｍ。在加工中，双层晶体梁因两个不同薄膜之间的残余应力差而被弯曲。已测得使每个梁翘曲转换电压分别为３２Ｖ、５６Ｖ、７６．５Ｖ。检测质量为７μｇ的每个微梁开关的阈值加速度，通过在内电极上加０－６７Ｖ的偏置电压，可以在０－１０ｇ、０－２４ｇ、０－３８ｇ范围内调节。