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BG－101J型分步光刻机鉴定会检测报告

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摘要ＢＧ—１０１Ｊ型分步光刻机鉴定会检测报告鉴定会检测组受鉴定委员会委托，ＢＧ—１０１Ｊ分步光刻机鉴定会检测组由五人组成，于１９９４年１２月９日至１２月１１日在北京市半导体器件三厂进行了紧张的检测工作，检测组首先根据电子部“军用电子专用设备科研试制合同书...

出处《电子工业专用设备》 1995年第2期30-38,共9页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 BG-101J型分步光刻机鉴定检测报告

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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电子工业专用设备

1995年第2期

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