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BG－101J型分步光刻机工艺考核报告

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摘要ＢＧ－１０１Ｊ型分步光刻机工艺考核报告北京市半导体器件三厂刘友声为了促进军用电子器件开发研制，北京市半导体器件三厂与电子工业部四十五所密切合作，从九一年十月份开始，用电子部４５所研制的军用电子专用设备ＢＧ－１０１Ｊ分步重复投影光刻机，共同完成国防科工...

作者刘友声

机构地区北京市半导体器件三厂

出处《电子工业专用设备》 1995年第2期18-22,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 BG-101J型分步光刻机工艺

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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电子工业专用设备

1995年第2期

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