期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

滚动式涂胶机

下载PDF

导出

摘要滚动式涂胶机黄铁军ＴＪ－２０１型大面积滚动式涂胶机是电子工业部第四十五研究所研制的用于涂敷矩形大面积片子的专用涂胶设备。该机采用滚动旋转的方法，利用高速滚动旋转所产生的离心力，将基片表面多余的抗蚀剂甩出，从而得到一层均匀的光致抗蚀剂薄膜。滚动式涂胶机...

作者黄铁军

出处《电子工业专用设备》 1995年第3期52-53,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词涂胶机滚动式光致抗蚀剂薄膜

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

1王瑞金,凌玮.涂胶机的微机控制系统的设计[J].机电工程,1998,15(1):36-37.
2蔡凡弟.新型滚动式编解码芯片[J].电子世界,1997(11):24-25.
3董兵,张庆海.智能滚动式广告窗[J].电子世界,2000(4):52-52.
4陈焱,程金胜.全自动平板涂胶机的研制及应用[J].电子工业专用设备,2005,34(9):49-51. 被引量：2
5廖温初.我国涂胶机显影机发展概况与标准的制定[J].电子工业标准化通讯,1989(3):15-16.
6廖世荣,杨达永,方佼.涂胶设备背面冲洗功能的开发与研制[J].微电子技术,2002,30(2):42-46.
7孔德生.大面积移动式曝光及涂胶设备[J].电子工业专用设备,1994,23(3):63-65.
8赵付超,杜民栋,王卫华,王花.XTJ-200旋转涂胶机的研制[J].电子工业专用设备,2009,38(3):42-44.
9刘祖轲,王凡新.华为如何打造一支营销铁军[J].印刷经理人,2005(11):46-47. 被引量：1
10赵明,钱锡鑫.地市级电视台的自动播出系统[J].安徽科技,1998(11):38-38.

电子工业专用设备

1995年第3期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部