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混合微电子技术用关键材料的新进展
被引量:
7
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摘要
概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状,讨论了混合微电子产品对不同材料的要求,分析了各种材料的特点,列出了相关材料的详细数据,指出了这些材料的发展趋势。
作者
程阜民
机构地区
合肥电子部
出处
《电子工艺技术》
1995年第4期21-25,共5页
Electronics Process Technology
关键词
混合微电子技术
材料
混合集成电路
分类号
TN45 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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