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霍尔集成电路及其在磁法覆盖层厚度测量仪中的应用
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摘要
文章提出了在覆盖层厚度测量中,霍尔集成电路是老式的电感厚度传感器的较理想的替代品。它的优点是容易制作,灵敏度高,性能稳定。
作者
姚广仁
赵威
出处
《电子技术(上海)》
北大核心
1995年第1期21-23,共3页
Electronic Technology
关键词
霍尔集成电路
覆盖层厚度测量
非线性校正
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TH821.1 [机械工程—精密仪器及机械]
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电子技术(上海)
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