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微机电一体化与纳米技术 被引量:1

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摘要 文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。
出处 《电子科技》 1995年第3期1-4,8,共5页 Electronic Science and Technology
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