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能谱分析系统探头分辨率下降原因的分析与探讨
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摘要
能谱分析系统探头分辨率下降原因的分析与探讨张希顺(北京有色金属研究总院,北京100088)探头是能谱分析系统的关键部件。探头性能好坏决定着能谱分析系统的分辨率和探测效率的高低。目前世界上探测器制造技术发展很快,最新推出能谱分析系统探头中所采用的晶体在...
作者
张希顺
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1995年第1期74-76,共3页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
探头
能谱分析
电子显微镜
分辨率
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TN103 [电子电信—物理电子学]
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电子显微学报
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