摘要
本文系统介绍了近年来真空微电子学的研究内容、达到的水平和亟待解决的问题：包括真空微电子器件的基本结构、场发射阵列、微尖结构物理、新材料和新器件的探索以及真空微电子学的主要应用。
The research fields,current level and problems of vacuum microelectronics are presented,including basic structures of vacuum microdevices, field emission array, physics of microtip,new materials,new principles of vacuum microelectronics and main applications.
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第10期134-138,133,共6页
Acta Electronica Sinica
基金
国家自然科学基金
关键词
真空微电子学
场发射
场发射阵列
平板显示
Vacuum microelectronics
Field emission
New material
Field emission array
Field emission display
Microwave device
