摘要
本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。
A survey of current international research on MEMS is presented. The principal technology involved in MEMS and its industrial application are introduced. We have also analyzed MEMS related research conducted by leading international institutes and some suggestions are proposed for future development of MEMS technology in China.
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第10期37-42,共6页
Acta Electronica Sinica
基金
国家重点自然科学基金
关键词
微电子机械系统
微机械
MEMS
Micromachines
Sensors
Actuators
