摘要
在熔融石英玻璃衬底上，通过注入氮离子和硼离子，制成了低损耗、单模平面光波导．波导的最大折射率和离子浓度分布的半宽度分别是１．４８和０．５μｍ，波导损耗＜０．１ｄＢ／ｃｍ．
The low-loss single mode waveguides in fused quartz substrate were fabricated by nitrogen and boron ion implantation.The maximum index and half width of refractive index profile is 1.48 and 0.5 μm,respectively.The waveguide loss is less than 0.1 dB/cm.
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第1期78-81,共4页
Chinese Journal of Luminescence
关键词
光波导
离子注入
石英玻璃
optical waveguide,ion-implatation,integrated optics
