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一种新型的硅触发器传感器

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摘要 一、前言由于硅适于制造各种传感器,这导致测量各种物理参数和化学参数的集成传感器发展很快。利用硅制造传感器的主要动机是硅器件可以进行批量生产,并且可以把传感器与信号处理电路集成在同一芯片,这就发展出所谓“智能传感器”。
作者 李华
出处 《仪器仪表与分析监测》 1989年第1期27-30,共4页 Instrumentation·Analysis·Monitoring
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