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新型微电子和光电子材料──SiGe／Si异质结构材料的发展

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摘要新型微电子和光电子材料──ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结构材料的发展夏传钺（国家自然科学基金委员会，信息科学部１０００８３）刘安生，郑有斗（北京有色金属研究总院１０００８８）（南京大学物理系２１０００８）近半个世纪半导体的发展表明，硅材料所制备的器件和以硅大规...

作者夏传钺刘安生郑有斗

机构地区国家自然科学基金委员会

出处《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期321-323,333,共4页 Journal of Optoelectronics·Laser

关键词锗化硅硅异质结构半导体材料

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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光电子．激光

1995年第6期

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