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微机械加工及其在光器件方面的应用

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摘要近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述.

作者杨妹清

出处《光机电信息》 1995年第7期15-18,共4页 OME Information

关键词微机械加工光器件半导体制造工艺

分类号 TN205 [电子电信—物理电子学] TN305 [电子电信—物理电子学]

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光机电信息

1995年第7期

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