微型激光干涉仪

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摘要在米范围移动距离中,纳米级的高分辨测量系统,获得越来越重要的意义.然而,至今这类测量系统大多数不轻便且价格昂贵.本文介绍的是一种半导体激光干涉仪全新的设计方案,其结构简单,传感器十分轻便(直径17mm),具有至今未达到的效率,是距离、力、硬度或折射率理想的测量工具.

作者大舟

出处《光机电信息》 1995年第8期34-35,共2页 OME Information

关键词激光干涉仪测量光学仪器

1陈津平,张宝峰,胡晓东,胡小唐.微型激光干涉仪应用于纳米测量机[J].计量技术,2002(4):6-8. 被引量：7
2夏瑞雪,陈晓怀,卢荣胜,俞庆平.新型纳米三坐标测量机误差检定方法的研究[J].电子测量与仪器学报,2010,24(3):250-256. 被引量：27
3李艳宁,饶志军,唐洁,宋晓辉,胡晓东,付星,胡小唐.一种新型STM纳米计量仪[J].天津大学学报（自然科学与工程技术版）,2004,37(12):1069-1072.

光机电信息

1995年第8期

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