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应用光刻的加工技术

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摘要微机械的实现,很大程度上取决于微细加工技术、尤其是应用光刻的加工技术的发展.毋容置疑,除微细加工技术外,譬如象机械加工等也在向微细化方向发展,而以半导体微细加工技术为背景,最近利用光刻的结构体加工技术正在逐步实现前所未有的新型加工,本文就应用半导体加工技术所展开的微细结构体加工技术作以介绍.

作者杨妹清

出处《光机电信息》 1995年第8期4-7,共4页 OME Information

关键词光刻加工技术应用

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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10刘文辉.100nm及其以下线宽的微(细)加工技术[J].电子工业专用设备,1991,20(1):64-64.

光机电信息

1995年第8期

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