微机械和光技术

不过分地说,当考虑制作微机械时,如果没有光刻等使用光的微机械加工技术,要实现微机械是不可能的.原来光技术与微机械、微机械加工有着不可分割的联系.近年来,利用光进行的微机械加工,不仅进行图形的缩小投影,而且很容易向微小部分供应加工能量,并且利用光化学反应进行的加工引人注目,这是因为即使容易损坏的灵活微小结构体也能用这种技术进行加工,因而这种技术适于制作具有微小机械器件的结构体.因此,要制造更为立体形状的微小机械结构,利用光的三维微细加工技术成为重要的关键技术.