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用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导
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摘要
改变基片转速,连续外延生长了双层磁光薄膜,其折射率之差小于10 ̄(-2),用NiCr膜作掩膜,在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀,制作了宽度为20μm,长度为6mm,高度为的0.9μm的脊形波导,并在此波导上进行了光传输实验。
作者
欧阳嘉
张颖
何华辉
机构地区
华中理工大学固体电子学系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1995年第2期190-192,共3页
Acta Photonica Sinica
关键词
层状磁光薄膜
脊形波导
离子束刻蚀
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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光子学报
1995年 第2期
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