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当前离子束研究与发展的课题
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摘要
利用定向高能的离子束来改善材料的表面敏感性能已在全世界进行了几乎二十年了。在此期间,大量的改善性能的试验已在实验室里得到证实,而有些应用目前正寻求工业应用。目前氮离子注入使精密部件抗腐蚀,包括钛合金外科用的假肢和精选工具,就属于这些转向的研究和发展课题。通常称为离子束辅助沉积(IBAD)的离子束轰击连同物理气相沉积的混杂结合已成为一种有效的处理技术。它将离子束许多好的特性与常规的涂层技术相结合。
作者
Hirv.,JK
王惠三
出处
《国外核聚变与等离子体应用》
1995年第5期69-75,共7页
关键词
IBAD技术
氮离子注入
涂层
离子束辅助沉积
分类号
TG156.8 [金属学及工艺—热处理]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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国外核聚变与等离子体应用
1995年 第5期
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