用金属有机化合物热分解的金属氮化物低温沉积

本文着重对硼、硅、锡、钛、锆和钽等金属酰胺组成物的热分解进行了研究,除硼、硅、锡等的酰胺在高温下得到的是各元素的沉积外,其它金属转变的酰胺在300～500℃时的分解均能获得各相应金属的氮化物沉积。四份钛酰胺在用H_2和N_2作载气分解沉积TiN时,具有两个最佳温度即400℃和800℃;但用氩气时只可能在低的温度下沉积。文中通过钛酰胺在不同温度下.分解后排出气体的质谱分析,对低温和高温的分解过程进行了论述。