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厚膜薄膜集成电路制造中的电阻测试技术
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摘要
在厚膜和薄膜集成电路的生产中,需要对大量的电阻或电阻网络进行修正和测试,如何进行精密而又快速的测试是一个值得研究的重要问题。本文将对开尔芬联接方式和电阻隔离测试技术、隐藏电阻测试方法等联接方式予以论述。
作者
陶世宏
机构地区
四川仪表六厂
出处
《电测与仪表》
北大核心
1989年第7期24-26,共3页
Electrical Measurement & Instrumentation
关键词
集成电路
制造
电阻测试
厚膜
薄膜
分类号
TN45 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电测与仪表
1989年 第7期
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