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“闭环控制”生产法的意义
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摘要
本文在总结通过改善设备状况及操作环境而提高产品质量的经验基础上,经分析提出了半导体器件生产过程中的所谓“闭环控制生产”的概念,从一个新的角度去认识器件的研制和生产过程。
作者
戚春生
李开国
王克俭
齐军
出处
《黑龙江电子技术》
1995年第2期23-24,共2页
关键词
闭环控制
操作环境
设备
半导体器件
生产
分类号
F407.636.3 [经济管理—产业经济]
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