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光电子与硅芯片能单片集成吗?

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摘要 GaAs光电子器件与微电子器件的集成呈现出了一些兼容性问题,这些问题会严重影响硅CMOS的性能。
出处 《红外》 CAS 1995年第2期27-32,共6页 Infrared
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