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新型红外增透膜与保护膜 被引量:8

New IR Antireflection and Protective Coationgs
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摘要 综述了近年来几种新型红外光学材料──类金刚石、金刚石、碳化锗及磷化硼薄膜的发展现状,详细论述了这些光学材料的性能特点、制备方法、应用前景、存在的关键问题以及未来的发展方向。 Recent development of some IR antireflection and protective coatings such as diamond-like carbon, diamond, boron phosphide and germanium-carbon alloys, has been reviewed. Their characteristics, deposition methods, application prospects, main problems and development trends are discussed.
作者 张贵锋
出处 《红外技术》 CSCD 1995年第5期23-28,共6页 Infrared Technology
关键词 类金刚石 金刚石 碳化锗 磷化硼 红外增透膜 Diamond-like carbon Diamond Germanium carbon Boron phosphide Antireflection and protective films
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