摘要
本文报道一种新的观察碲镉汞（ＣＭＴ）晶片表面加工损伤的方法──电化学腐蚀法。文中讨论了电化学腐蚀法的原理，给出了实验结果。实验表明：机械磨抛的ＣＭＴ晶片表面的加工损伤可用电化学腐蚀法清楚地揭示出来；磨抛产生的机械划痕在电化学腐蚀前后一一对应，而且腐蚀后可清晰、直观地看到腐蚀前看不见的机械划痕；结合化学腐蚀的方法测量了一定磨抛条件下Ｗ３．５磨料在ＣＭＴ晶片表面产生的最大加工损伤深度约３２～４０ｐｍ；机械磨抛产生的划痕和其在表面留下的应力沟道区是ＣＭＴ晶片表面在磨抛加工中受到损伤的主要机构。分析认为平均损伤深度主要影响磨抛ＣＭＴ晶片的表面复合速度，而最大加工损伤深度则对ＣＭＴ器件、特别是多元器件性能参数的均匀性影响比较大；故控制好ＣＭＴ晶片表面加工的最大损伤深度也是制备性能均匀的ＣＭＴ多元探测器的一个重要环节。
A new method for observation of wafer surface damage──electrochemical etch method is presented and is of a successful use for polished CMT wafer surface damage。 Mechanical scratches induced during polishing wa-fers are directly observed after electrochemical etch.Maximum damage depth of lapped wafers with W3.5 abrasive grain is about 32～40μm. The meehanical scratches produce stress tunnel in crystal which is the most important damage.Average damage depth will dominate surface recombination vefocity of carriers and maximun damage affects performances of sensitive elements ofdetector. So it knecessary to control maximum damage depth.
