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电泳法玻璃钝化在大功率晶体管上的应用
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摘要
玻璃钝化由于具有高可靠性和稳定性,被广泛用于高反压大功率三极管的台面钝化.目前,形成钝化膜的方法主要有电泳法、阴极溅射法、离子沉淀法、汽相淀积法和“博士”,刀片法等几种方法.电泳法虽然工艺比较复杂,但由于它选择性强,膜厚容易控制,一致性好,光刻兼容容易等特点而被广泛使用.
作者
贾维国
机构地区
内蒙古半导体器件厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第6期35-37,共3页
Semiconductor Technology
关键词
功率晶体管
玻璃钝化
电泳法
分类号
TN323.405 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
1989年 第6期
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