电泳法玻璃钝化在大功率晶体管上的应用

导出

摘要玻璃钝化由于具有高可靠性和稳定性,被广泛用于高反压大功率三极管的台面钝化.目前,形成钝化膜的方法主要有电泳法、阴极溅射法、离子沉淀法、汽相淀积法和“博士”,刀片法等几种方法.电泳法虽然工艺比较复杂,但由于它选择性强,膜厚容易控制,一致性好,光刻兼容容易等特点而被广泛使用.

作者贾维国

机构地区内蒙古半导体器件厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第6期35-37,共3页 Semiconductor Technology

关键词功率晶体管玻璃钝化电泳法

1吴长沪.电泳法制备荧光屏[J].真空电子技术,1992,5(2):14-19. 被引量：2
2林逸青,刘园丁,黄拔波.功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究[J].哈尔滨工业大学学报,1989,21(5):88-92. 被引量：1
3李忠,石礼伟,薛成山,李玉国.电泳法制备ZnO/SiO_2复合薄膜[J].电子元件与材料,2006,25(6):43-45.
4梁亦然,夏继业,梁学磊.两步边缘场电泳法制备短沟道高开关比碳纳米管薄膜晶体管[J].科学通报,2016,61(21):2427-2427. 被引量：1
5梅山孩,冯涛,孙卓,林丽锋.电泳电压对碳纳米管沉积薄膜及阴极场发射特性影响[J].液晶与显示,2008,23(4):478-483. 被引量：8
6贾维国,丁铁柱.电泳法SrTi_(1-x)Mg_xO_(3-δ)膜的制备[J].内蒙古大学学报（自然科学版）,1998,29(3):334-337. 被引量：3
7梅山孩,冯涛.电泳方向对碳纳米管薄膜及场发射特性影响[J].浙江树人大学学报（自然科学版）,2008,8(3):16-20.
8赵宇琼,朱亚彬,安垚,廉玉东,崔兆邦,王保军.电泳法制备ZnO/YBCO异质结及电学性质研究[J].低温与超导,2009,37(11):41-43. 被引量：1
9安立宝,李文,陈佳.高温退火降低碳纳米管接触电阻的实验研究[J].北京工业大学学报,2017,43(2):294-298. 被引量：9
10基于纳米碳管场发射阵列的全彩色大面积平板显示器[J].炭素,2005(2):12-12.

半导体技术

1989年第6期

浏览历史

内容加载中请稍等...