激光消融与光化学蒸气沉积

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摘要激光消融与光化学蒸气沉积１．引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中，强脉冲激光束将固体靶表面气化，并在真空室内沉积到基片上成为薄膜。激光消融的原始概念，在１９６０年激光问世不久就想到了［‘］。此后进行了一...

作者傅恩生罗山

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 1995年第3期7-10,共4页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词激光消融光化学蒸气沉积薄膜

分类号 TB43 [一般工业技术] O484.1 [理学—固体物理]

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激光与光电子学进展

1995年第3期

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